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等離子沉積 Plasma Deposition

  • ICPECVD 沉積系統(tǒng)

    ICPECVD 沉積系統(tǒng)

    高密度等離子體 

    平板ICP等離子源 

    優(yōu)良的沉積效果

     

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  • PECVD 沉積系統(tǒng)

    PECVD 沉積系統(tǒng)

    工藝靈活 

    預(yù)真空室 

    控制軟件 

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  • 經(jīng)濟(jì)型 PECVD 沉積系統(tǒng)

    經(jīng)濟(jì)型 PECVD 沉積系統(tǒng)

    性價(jià)比高

    擴(kuò)展性強(qiáng)

    控制軟件 

     

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