多腔系統(tǒng) Multi-chamers System

• 多腔系統(tǒng)

  

  ICP刻蝕機(jī)、RIE刻蝕機(jī)、PECVD和ICPECVD、真空裝片裝置或盒式載片臺(tái)可以用3到6端口的傳遞腔室連接，實(shí)現(xiàn)多腔室系統(tǒng)供研發(fā)所用。 

   

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