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電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐
雙壁水冷石英管
2英寸,100mm或150mm晶圓工藝
高溫計控制和電源控制,保證生長爐穩(wěn)定運行
自動PLC控制,帶工藝,觸屏,安全互鎖/警報等功能
遠(yuǎn)程監(jiān)測和控制
占地空間最小的SiC生長爐
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