Aymont目前生產(chǎn)和銷售第一款商業(yè)型晶體生長爐，可用于量產(chǎn)150mm。SP-150生長爐主要將用來量產(chǎn)150mm SiC晶圓。

SiC量產(chǎn)最佳解決方案

主要特點

• 電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐

• 雙壁水冷石英管

• 2英寸，100mm或150mm晶圓工藝

• 高溫計控制和電源控制，保證生長爐穩(wěn)定運行

• 自動PLC控制、帶工藝、觸屏、安全互鎖/警報等功能

• 遠程監(jiān)測和控制

• 占地空間最小的SiC生長爐

應(yīng)用領(lǐng)域

• 電力電子（肖特基二極管/MOSFETs場效晶體管/JFETs結(jié)型場效應(yīng)晶體管/IGBTs絕緣柵雙極晶體管,BJTs晶體管/晶體閘流管/SiC pn結(jié)二極管）

• 功率因數(shù)補償/太陽能逆變器/電動汽車

• 基片晶圓/GaN基HB-LEDs/顯示屏/汽車/通用照明

• GaN基高頻器件