AJA多腔系統(tǒng) Multi-chamers & Hybrid System

• 多腔系統(tǒng)

  

  集成多種工藝：磁控濺射 | MOS | 沉積（電子束和熱蒸發(fā)）| 橢偏儀 |  離子刻蝕 | 二次離子質(zhì)譜 | 離子束沉積 快速退火 | 脈沖激光沉積 | 氧化和氮化 | 分子束外延 | 反應(yīng)離子束刻蝕 | RHEED XPS/AUGER/LEED

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