AJA離子束刻蝕系統(tǒng) Ion Milling System

• 離子束刻蝕系統(tǒng)

  

  物理刻蝕設(shè)備，多種尺寸選擇。集成基片冷卻和SIMS終點監(jiān)測功能。兼容射頻和直流離子源，最大22cm直徑。滑軌時安裝，方便集成更大直徑離子源。

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