AJA電子束蒸發(fā)系統(tǒng) E-beam Evaporation System

• 電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

  

  柜式和圓柱腔體 | 高真空和超高真空結(jié)構(gòu) | 選配預(yù)真空室和cassette | 旋轉(zhuǎn)或直線型蒸發(fā)源 | 集成升降或鉸鏈門 | 單層，多層或共蒸發(fā)沉積 | 線性電子槍 | 滑軌行星，加熱和冷卻樣品臺 | 可按需定制

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