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SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對單層膜、多層膜和基底材料進(jìn)行高精度反射光譜測量?？蓪ξ栈蛲该骰咨系耐该骰蛉跷毡∧し治龊穸群驼凵渎?/font>
主要特點(diǎn)
l 高精度反射率測量，非接觸，正入射光
l 寬光譜范圍，可從 UV至NIR
l 測量反射率曲線R, 薄膜厚度，折射率
l FTPexpert 軟件，用于測量薄膜的光學(xué)參數(shù)
l 測量半導(dǎo)體混合物的組分 (例如： AlGaN on GaN)
l 分析各向異性薄膜
技術(shù)指標(biāo)
l 光譜范圍擴(kuò)展至DUV (200 nm)
l 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm)
l x-y 地貌圖掃描樣品臺和軟件
l 攝象頭
l PC
