多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長(zhǎng)HeNe激光器，對(duì)測(cè)量薄膜厚度，折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料（基底） 

l 超高精度和穩(wěn)定性，來(lái)源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補(bǔ)償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測(cè)器 

l 高精度樣品校準(zhǔn)，使用光學(xué)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡和顯微鏡 

l 快速簡(jiǎn)易測(cè)量，可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度 

l 多角度測(cè)量，可完全支持復(fù)雜應(yīng)用和精確厚度 

l 全面的預(yù)設(shè)應(yīng)用，包含微電子、光電、磁存儲(chǔ)、生命科學(xué)等領(lǐng)域 

技術(shù)規(guī)格 

l 激光波長(zhǎng)632.8 nm 

l 150 mm (z-tilt) 載物臺(tái) 

l 入射角度可調(diào)，步進(jìn)5º 

l 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡/顯微鏡，用于樣品校準(zhǔn) 

l Small footprint 

l 以太網(wǎng)接口連接到PC 

l 微細(xì)光斑選項(xiàng)，光斑直徑30微米 

l 手動(dòng)x-y方向移動(dòng)載物臺(tái)，行程150 mm 

l 地貌圖 選項(xiàng) (x-y方向, 最大行程200 mm, 帶有真空吸附) 

l 攝象頭選項(xiàng)，用于取代目鏡進(jìn)行樣品對(duì)準(zhǔn) 

l 液體膜測(cè)量單元 

l 自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)，同地貌圖選項(xiàng)結(jié)合 

l 反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米 

l 雙波長(zhǎng)激光 (405 nm 或1550 nm) 

l SIMULATION軟件　 

l 針對(duì)粗糙表面硅太陽(yáng)能電池的測(cè)量裝置