光譜范圍：350 nm - 850 nm 

可選: 280 nm - 850 nm 

SE 800是采用快速二極管陣列探測(cè)器的高性能光譜橢偏儀，在紫外/可見(jiàn)光范圍內(nèi)兼具快速數(shù)據(jù)采集速度和全光譜范圍分辨率。 

光譜橢偏儀SE 800適用于復(fù)雜應(yīng)用，比如測(cè)量玻璃上的透明薄膜，發(fā)光體和半導(dǎo)體聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多層膜，窗材料的減反射膜，先進(jìn)的微電子應(yīng)用比如SOI，高k值和低k值材料。各向異性樣品和非均勻樣品也能夠被分析。

主要特點(diǎn)

l 步進(jìn)掃描分析器工作方式，對(duì)較低光強(qiáng)也同樣有效

l 消色差補(bǔ)償器在整個(gè)0-360度范圍內(nèi)都可極準(zhǔn)確和精確地測(cè)量出橢偏角度。能夠分析偏振因數(shù)和補(bǔ)償退偏效應(yīng)

l 起偏器跟蹤技術(shù)可以為每一種應(yīng)用都提供最高的測(cè)量精度

l 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡用于樣品傾斜度調(diào)節(jié)，顯微鏡用于樣品高度調(diào)節(jié)，能夠提供最高的樣品對(duì)準(zhǔn)精度

l 高穩(wěn)定性的操作，所有硬件操作由其內(nèi)置的微控制器分別控制，基于Windows XP系統(tǒng)的最新型電腦

l SpectraRay II – 功能強(qiáng)大的光譜橢偏儀軟件 

主要應(yīng)用 

l 測(cè)量單層膜或多層膜的厚度和折射率

l 在紫外-可見(jiàn)光波段測(cè)量材料的光學(xué)性質(zhì)

l 測(cè)量厚度梯度

l 測(cè)量膜表面和界面間的粗糙程度

l 確定材料成分

l 分析薄金屬膜

l 分析各向異性材料和薄膜

l CER – 結(jié)合橢偏測(cè)量和反射測(cè)量

l CET – 結(jié)合橢偏測(cè)量和透射測(cè)量 

l 紫外擴(kuò)展選項(xiàng) 280 - 850 nm 

l 計(jì)算機(jī)控制角度計(jì)，40º-90º, 可選 20º-90º ，精度0.01º 

l 手動(dòng)x-y載物臺(tái)，150 mm行程 

l 電機(jī)驅(qū)動(dòng)x-y載物臺(tái)，行程50 mm - 200 mm 

l MWAFER- SENTECH地貌圖掃描軟件 

l 透射測(cè)量樣品夾具 

l 攝象頭選項(xiàng)，用于樣品對(duì)準(zhǔn)和表面檢測(cè) 

l 液體膜測(cè)量單元 

l 反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米 

l 微細(xì)光斑選項(xiàng)，光斑直徑200微米，可選: 100微米 

l 自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)，結(jié)合地貌圖掃描選項(xiàng) 

l SENTECH標(biāo)準(zhǔn)樣片 

l 附加許可，使SpectrRay II軟件可以用于多臺(tái)電腦 |