Innovative˙Powerful˙Affordable

設(shè)計創(chuàng)新˙功能強大˙經(jīng)濟實惠

Film Sense FS-1™ 多波長橢偏儀采用壽命長LED光源和非移動式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)快速和可靠地薄膜測量。

大多數(shù)厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要簡單的1秒測量，就可以獲得非常精密和準確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學常數(shù)和其他薄膜特性。

FS-1這款功能強大的多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實驗室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域

主要特點

l 4個LED光源：藍色（465nm），綠色（525nm），黃色（580nm），紅色（635nm）

l 橢偏儀探測器中無可移動部件

l 卓越的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于0.001nm（1秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

l 集成計算機，可實現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計算機，筆記本或平板電腦

在線測量功能

自動Mapping系統(tǒng)

FS-1™多波長橢偏儀，帶緊湊自動mapping樣品臺，可以實現(xiàn)快速，準確和可靠的薄膜均勻性測量。

軟件控制

選配件

聚焦光束選件

樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm或0.3 x 0.7 mm

聚焦光束檢測

聚焦光束檢測系統(tǒng)包括一個FS-1多波長橢偏儀，帶光束聚焦光學器件和一個手動位移臺。該系統(tǒng)非常適合用于手動檢測和在圖案化半導體晶圓上進行質(zhì)量控制測量?？蛇M行科研測量，帶小尺寸光斑和相機成像功能手動位移臺，可容納4’，5’，6’晶圓樣品上光束尺寸0.3 x 0.7 mm樣品上光束位置視頻圖像